六氟乙烷（全氟乙烷，PFC‑116，R‑116）

CAS：76‑16‑4

分子式：



，分子量 138.01

理化参数

• 外观：无色无味加压液化气体

• 沸点‑78.2℃；熔点‑100℃

• 蒸气密度约为空气4.7 倍，容易沉积低洼处，存在窒息风险抖音百科

• 不燃、无闪点，化学性质稳定；ODP=0，不破坏臭氧层；GWP 极高≈12600，强温室气体，基加利修正案管控 PFC 全氟碳

• 微溶于水；高温电弧下分解产生氟化氢有毒物质

危化分类

2.2 类非易燃无毒液化气体，UN2193

主要危险：密闭空间缺氧窒息；液体接触会造成冻伤；不属于两用物项，属于 PFC 全氟碳温室气体，出口需要做 F‑gas 申报

HS 编码：2903399090

主要用途

1. 半导体核心电子特气：等离子蚀刻（氧化硅、氮化硅层）、腔体清洗，存储芯片、逻辑芯片、面板 OLED 产线大量使用

2. 低温混合制冷剂、绝缘气体；光纤制造工艺气

3. 部分医疗设备、特种检漏气体；光伏刻蚀工艺气体